Clean Loading & Un-Loading System

Clean Loading & Un-Loading System[CLUS]은 반도체, 디스플레이 및 IT 산업분야에 사용되는 대량의 고순도 화학 약품을 생산 장비로 공급 또는 iso-container로 하역하는 System이다.

CLUS-H2의 배관부에는 Chemical용  자동 청정 결합/분리 장치인 ACQC(Automatic Clean Quick Coupler)와 가압 및 배기를 위한 N2용 Manual Coupler가 장착되며 약액용 ACQC Coupler 체결 시 D.I. Water 세정 및  질소에 의한 건조과정이 수반되어 오염없이 안전하게 약액이 이송되도록 한다.  장비의 공압부에는 N2 압력조정 장치 및 Filtering 장치를 수용하고 있으며 Drain/Exhaust Buffer Tank 및 각종 Valve, Switch, 배관류를 장착하고 있다. 하부의 모든 Valve Control은 Pneumatic으로 작동된다.


■ Features


- 설치 및 유지보수 용이

- Touch Screen을 통한 편리한 조작

- 약품 이송시간 단축 (50A ACQC Cv : 22.7)

- 전 접액부 Cyclon 회전세정 및 건조에 의한 약액 오염 방지

- 약액 별 고유 Key-code System 적용에 의한 오입 방지


■ Specification


MaterialsSpecification
Size1,000(w) x 1,000(d) x 2,020(h)  *Customization available
CabinetAcid, Alkali : PVC
Solvent : SUS 304 H/L
Wetted part materialAcid, Alkali : PTFE, PFA
Solvent : SUS 316L EP
Chemical ACQC (Size)Acid, Alkali : Teflon (50A (2"))
Solvent : SUS 316L EP (50A (2"))
N2 ACQC (Size)Acid, Alkali : Teflon (20A (3/4"))
Solvent : SUS 316L EP (20A (3/4"))
Used Pressure3.5 kgf/cm²
Control SystemLS PLC *Other Maker Available
Operation Panel15" Touch screen & Graphic switch panel